賽可的X-RAY檢測(cè)設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝中的內(nèi)部缺陷檢測(cè)，主要分為“開放式光管”和“封閉式光管“兩大類，是韓國(guó)較早能生產(chǎn)X-RAY部件光管的企業(yè)，相關(guān)技術(shù)處于行業(yè)佼佼者的地位。賽可的晶圓級(jí)檢測(cè)設(shè)備如NF120搭載了200nm級(jí)別開管式光管以實(shí)現(xiàn)無損檢測(cè)。丁光聲表示，相比于同類型產(chǎn)品，賽可的晶圓級(jí)檢測(cè)設(shè)備采用脈沖式照射，很大程度上減少了X射線對(duì)檢測(cè)樣品的損傷。

賽可（SEC）X-RAY檢測(cè)設(shè)備 NF120

      據(jù)了解，賽可的X-eye NF120 Series搭載了200nm的Nano-focus Tube，廣泛應(yīng)用于要求檢測(cè)Sub-micron單位不良的半導(dǎo)體封裝即Wafer level packaging(WLP)領(lǐng)域里，在Wafer level工藝中，可對(duì)TSV，Micro-bump，Cu pilar等產(chǎn)生的超細(xì)微不良進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。SEC獨(dú)有的3D CT用Auto Collimation及Filtering技術(shù)實(shí)現(xiàn)X-ray damage free（無損檢測(cè)），可安全檢測(cè)存儲(chǔ)半導(dǎo)體芯片。此外，這款儀器可同時(shí)兼容2D，3D自動(dòng)檢測(cè)。